据日经BP社报道,日本产业技术综合研究所和夏普、TDK公司日前共同开发出了新一代光盘的母盘刻录技术,并在爱知大学举行的“第62届应用物理学会学术演讲会”上发表。
研究人员成功地使用波长635nm的红色半导体激光和开口数(NA)0.6的物镜在感光胶上刻出了直径80nm的微小点阵以及线宽110nm的连贯图形,最短记录痕迹仅100nm。该技术可用于未来的DVD播放专用光盘的母盘刻录用途。
目前,母盘的刻录工序中大多使用波长250nm左右的紫外激光和电子束(EB)等方法,但这些方法都需要引进全新的光学系统和装置,从而不可避免地增加了投资负担。(张海波)
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