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台湾试产成功12寸晶圆


http://www.enorth.com.cn  2001-08-29 11:09

  台北消息:台湾积体电路公司使用0.15微米制程技术已成功产出逻辑和SRAM测试晶片,以及钰创科技的8MbSRAM。

  台积电说,这些首批下线的12寸晶片都已经过功能验证,并且达到台积电晶圆厂的月生产设计能力2.5万片,预定今年年底的装机产能将达到每月4500片。

  台积电公司总经理蔡力行说:“12寸晶圆制造技术将是21世纪晶圆制造技术的主流。与8寸晶圆制造技术相比,12寸晶圆制造技术将更具成本优势,并且在优良率、品质及产量方面也比8寸晶圆制造技术优异。”

  该晶圆厂是台积电公司首座12寸晶圆厂,于1993年底动土,2001年4月开始装机作业,8月0.15微米制程试产成功,并预计于今年第4季0.13微米全铜制程技术正式进入量产。同时,将积极展开台积电公司最先进的0.1微米制程技术的开发。(熊明山)

编辑 刘炜波 新华网
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