据外电报道,IBM已于近日加盟一个电脑芯片行业组织――“尖端紫外线联盟”(Extreme Ultra Violet LLC)。该组织致力于研究一种新型光刻工艺,使半导体芯片上的线路宽度进一步减小,从而缩减整个电路的尺寸。目前的标准芯片线路宽度为0.25微米,凭借当前工艺,要想刻制宽度小于0.1微米的线路已不可能。英特尔在1996年投入尖端紫外线光刻法(EUV)的研究,并于1997年联合摩托罗拉和AMD成立了上述组织。IBM的加盟可望加速上述技术的发展进程。据该组织业务经理介绍,该组织现已成功突破了在“尖端紫外线光刻法”研究中的几大障碍,当前的目标是将这一技术投入商用。IBM公司负责光刻工艺开发的经理表示,在加盟上述组织的同时,该公司仍将继续支持另一种标准――电子投射光刻法(EPL)的开发。由于在工艺上十分接近,在与EUV标准的竞争中,EPL渐渐处于下风。
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